TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

更新時(shí)間：2024-10-08

簡要描述：

TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
STACIS ® III 是一種靈活的高級(jí)主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和zui 先進(jìn)的壓電致動(dòng)器，通過連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng)，然后膨脹和收縮壓電致動(dòng)器以濾除地板運(yùn)動(dòng)來實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。

TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

STACIS ® III 是一種靈活的高級(jí)主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和zui 先進(jìn)的壓電致動(dòng)器，通過連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng)，然后膨脹和收縮壓電致動(dòng)器以濾除地板運(yùn)動(dòng)來實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。
STACIS 最初設(shè)計(jì)用于隔離*半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備，現(xiàn)在是噪聲環(huán)境中最敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不限于半導(dǎo)體工廠、故障分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究。

STACIS III 包括一個(gè)新的和改進(jìn)的數(shù)字控制器，DC-2020。憑借新的雙核處理器和以太網(wǎng)以及前后面板的 USB 串行端口，這種新的高級(jí)控制系統(tǒng)為用戶提供了現(xiàn)代且易于使用的圖形用戶界面 (GUI)。STACIS 在全球范圍內(nèi)成功安裝了數(shù)百次，是適用于對(duì)振動(dòng)最敏感的儀器的理想隔振系統(tǒng)。

優(yōu)勢(shì)：

STACIS 的硬度是空氣隔振器的數(shù)百倍，不受空氣隔振系統(tǒng)的任何限制。沒有“軟"懸架，而且與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS 可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔離系統(tǒng)的工具下方，兩個(gè)系統(tǒng)都經(jīng)過全面優(yōu)化。

du特的串行設(shè)計(jì)和專有的高壓壓電技術(shù)
可實(shí)現(xiàn)從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動(dòng)帶寬和wu與lun比的真正主動(dòng)隔振，從 2 Hz 開始可減少 90% 的振動(dòng)。

TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

性能規(guī)格

主動(dòng)自由度	6個(gè)
有效帶寬	0.6 赫茲 - 150 赫茲
被動(dòng)固有頻率	18 赫茲垂直和水平
有效主動(dòng)諧振頻率	0.5赫茲
1 Hz 時(shí)的隔離	40% - 70%
≥2 Hz 時(shí)的隔離	≥90%
10 磅（4.5 千克）階躍輸入后的穩(wěn)定時(shí)間（10:1 減少）	0.3秒
內(nèi)部噪音	<0.1 納米均方根
每個(gè)隔離器的工作負(fù)載范圍	低容量：182-500 千克（400-1100 磅）中容量：410-955 千克（900-2100 磅）高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅）
剛度（1000 磅/454 千克質(zhì)量，中等容量隔離器）	40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛頓/米)
從隔離器發(fā)出的磁場(chǎng)最大為 4 英寸（102 毫米）	<0.02 μG 寬帶 RMS